Micro-LED顯示作為業(yè)界普遍認可的下一代顯示技術(shù)，相較于液晶顯示(LCD)、OLED顯示技術(shù)，具有高亮度、低功耗、高壽命，高分辨率和響應(yīng)速度快等特點，在可穿戴電子器件、戶外顯示和AR/VR頭盔顯示等領(lǐng)域有非常好的應(yīng)用前景。但是，目前制作高分辨率Micro-LED顯示器件面臨許多挑戰(zhàn)，其中如何將數(shù)十萬甚至數(shù)百萬顆Micro-LED顯示芯片快速精準(zhǔn)地轉(zhuǎn)移和集成到驅(qū)動電路模塊上，是業(yè)界致力研究的熱點之一。研究者們提出了多種巨量芯片的轉(zhuǎn)移技術(shù)，但效率和精度都還有提升的空間。另外，許多轉(zhuǎn)移技術(shù)只考慮了芯片轉(zhuǎn)移技術(shù)本身的優(yōu)化，未仔細研究與后續(xù)集成工藝的兼容問題。 

　　近日，省科學(xué)院半導(dǎo)體所的研究人員發(fā)展了一種膠帶輔助的激光剝離轉(zhuǎn)移技術(shù)及與其相兼容的倒裝集成技術(shù)，有望解決業(yè)界關(guān)于巨量芯片轉(zhuǎn)移和異質(zhì)集成的問題。在此基礎(chǔ)上，研究人員制備出平面和柔性Micro-LED微顯示原型器件。相關(guān)研究成果以“Wafer-Scale Micro-LEDs Transferred onto an Adhesive Film for Planar and Flexible Displays”為題，發(fā)表在在國際著名期刊《Advanced Materials Technologies》(JCR一區(qū)，影響因子：5.969)上。省科學(xué)院半導(dǎo)體所為第一作者，該工作得到了省科學(xué)院和廣東省重大專項資金項目的支持。 

　　論文鏈接：https://onlinelibrary.wiley.com/doi/10.1002/admt.202000549 

膠帶輔助的激光剝離轉(zhuǎn)移技術(shù)示意圖 

　　基于上述技術(shù)制備的柔性Micro-LED顯示原型器件 

　?。ㄊ】茖W(xué)院半導(dǎo)體所 潘章旭/供稿）