9月17日,省科學(xué)院半導(dǎo)體所召開廣東省重點(diǎn)領(lǐng)域研究計(jì)劃“第三代半導(dǎo)體材料與器件”重點(diǎn)專項(xiàng)“深紫外固態(tài)光源關(guān)鍵技術(shù)及創(chuàng)新應(yīng)用研究”項(xiàng)目中期工作會(huì)議,全面梳理了項(xiàng)目執(zhí)行以來的進(jìn)展,評(píng)定項(xiàng)目執(zhí)行整體進(jìn)度滿足中期考核指標(biāo)要求,并就接下來如何發(fā)揮該項(xiàng)目服務(wù)我省相關(guān)產(chǎn)業(yè)發(fā)展進(jìn)行了深入討論。
該項(xiàng)目由半導(dǎo)體所牽頭,聯(lián)合省內(nèi)多家龍頭企業(yè)和省內(nèi)外相關(guān)研究機(jī)構(gòu),依托7個(gè)國家級(jí)和7個(gè)省級(jí)研發(fā)平臺(tái)協(xié)同開展技術(shù)研發(fā)。項(xiàng)目將重點(diǎn)突破4英寸晶圓上的深紫外固態(tài)光源關(guān)鍵技術(shù),實(shí)現(xiàn)深紫外固態(tài)光源“襯底制備—材料外延—芯片制備—可靠封裝—應(yīng)用產(chǎn)品”的全產(chǎn)業(yè)鏈貫通,加快推進(jìn)傳統(tǒng)氣態(tài)汞燈的替代,為我省乃至全國相關(guān)產(chǎn)業(yè)高質(zhì)量發(fā)展提供技術(shù)支撐。
省科技廳高新處、省生產(chǎn)力促進(jìn)中心、省科學(xué)院科研部及半導(dǎo)體所相關(guān)負(fù)責(zé)人員參加會(huì)議。
會(huì)議現(xiàn)場
(省科學(xué)院半導(dǎo)體所先進(jìn)材料平臺(tái)/供稿)